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スパッタリングによる実務トラブル対応と膜の密着性・信頼性確保【2017年6月23日】

★膜の密着性・信頼性確保とは?

★事前内容リクエストサービス実施中! お客様の実務課題の持ち込み大歓迎です!

★★★このセミナーは“事前予約可能セミナー”です★★★


FAXからのお申し込みは下記PDFパンフレットをご利用ください

PDFパンフレット.jpg

セミナー番号
S70622 「スパッタリング」
(※本セミナーにお問い合わせの際は、セミナー番号と略称でお尋ねください)

講 師
 

ソメイテック 代表 大薗 剣吾 氏

対 象 スパッタリングに関心のある技術者
会 場
高砂ビル 2F CMC+AndTech FORUM セミナールーム【東京・千代田区】
◆東京メトロ 大手町駅下車 C1出口から徒歩5分
◆東京メトロ 竹橋駅下車 1番出口から徒歩10分、都営新宿線 小川町駅下車 B6出口から徒歩10分
◆神田駅下車 西口から徒歩10分
日 時
2017年6月23日(金) 13:30-16:30
定 員 30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
聴講料

 

【1名の場合】27,000円(税込、テキスト費用を含む)

【2名の場合】32,400円(税込、テキスト費用を含む)

【3名以上の場合は一名につき、5,400円加算】(税込、テキスト費用を含む)
※3名以上ご要望の場合は2名を選択し、備考欄にその旨お書きくださいませ

※ 弊社講座は、複数でのご参加を希望される場合、サービスとして1名につき、5,400円で何名でも追加の申し込みができますが、同一部署に限ります。なお、別途でのお申し込みは正規料金になります。ご了承ください。 

※ AndTechの講習会は、特別割引とポイント割引など、2種類以上の割引は、同時には適用されません。誤って、2種類以上の割引を同時にご利用された方には、後程、事務局より割引選択のための確認連絡をいたします

 

お申込


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【経歴】
技術士(金属部門)。大学院で金属材料を修了後、大手製造会社にて電子デバイス・半導体・高機能フィルム技術に携わる。蒸着、めっき、エッチング、リソグラフィ、研磨、表面分析など表面に関する広範の技術を経験。スパッタはバッチ式からインライン、小型から大型まで対応。材料開発、製品設計、工程設計、設備導入、品質管理、工場立上げなどの幅広い業務経験を生かし、技術に関する複合的な問題の解決を得意とする。

【講演主旨】※以前の講演を仮として掲載しております。
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するか?についてのノウハウはあまり知られていません。本講義では、膜の密着性改善、品質の安定化、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。

【プログラム】
1.スパッタリングの基礎
1-1 スパッタリングにおける物理現象を理解しよう
1-2 スパッタの特徴・・長所と短所とは
1-3 スパッタ装置の基本的装置構成を押さえる
1-4 スパッタ膜の現在の用途と今後の可能性について

2.膜物性を最適化しよう
2-1 膜の機械・光学・電気物性を知る
2-2 物性とパラメータの間にあるものを理解しよう
2-3 コンディションのあらゆる変動要因を知ろう
2-4 膜の分析技術を駆使しよう
2-5 ガス分析データを解析するとここまで分かる
2-6 望ましい物性を得るための多種多様なアプローチ
2-7 品質を安定させるための管理方法
2-8 複合膜・勾配膜による性能実現のポイント

3.微小欠陥への対処方法
3-1 微小欠陥の発生メカニズム
3-2 微小欠陥の検査・検出と集計の効率化
3-3 欠陥の解析による原因究明から対策までの流れ
3-4 欠陥の直接/間接的モニタリングの実際
3-5 生産性と欠陥のトレードオフへの考え方

4.膜の密着性・信頼性を確保するには
4-1 剥離はなぜ起こるのか
4-2 密着性評価の各種手法
4-3 密着性を改善するためのアプローチ
4-4 各種信頼性評価の目的を理解する
4-5 評価の効率化と品質管理の負荷を抑える方法
4-6 一般的評価方法の限界、独自の評価技術を確立しよう

5.生産性を向上させるには
5-1 サイクルタイムの考え方と制約条件を知る
5-2 スパッタ装置のメンテナンスサイクルを理解する
5-3 稼働率を見える化しよう
5-4 稼働率を上げるための方法とポイントを押さえよう
5-5 打ち手の選択・・作業負荷、改造コストから最終判断

6.スパッタの実務トラブル対策
6-1 うまく搬送できない
6-2 真空度が上がらない
6-3 ターゲットの利用効率が悪い
6-4 ターゲットから発塵してしまう
6-5 メンテナンスにものすごく時間と手間がかかる
6.6 変色、シミ、シワが発生する
6-7 過去より欠陥が増えたが原因が分からない
6-8 面内ばらつき、ワーク間ばらつきが大きい
6-9 よく装置が壊れる
6-10 テスト結果が再現しない

7.スパッタ装置の能力を最大限に引き出すには
7-1 用途による装置の進化・発展の違い
7-2 インライン装置の特徴と性能を引き出すポイント
7-3 枚葉装置の特徴と性能を引き出すポイント
7-4 ロールtoロール装置の特徴と性能を引き出すポイント

8.スパッタ装置を導入・改造するにはここを押さえよう
8-1 装置仕様決定のステップと最重要項目
8-2 装置導入のための評価方法とチェックポイント
8-3 改造でできる事とできない事を知る
8-4 遊休装置を復活させるときに押さえるべきポイント

【質疑応答・名刺交換】

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